CN119480589A 用于带电粒子束系统中保持物镜恒温的方法及设备 （惠然科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119480589A

(43)申请公布日2025.02.18

(21)申请号202510063918.9

(22)申请日2025.01.15

(71)申请人惠然科技有限公司

地址214000江苏省无锡市滨湖区十八湾

路288号湖景科技园15号楼111-73单

元

(72)发明人李山磊杨思源王志斌

(74)专利代理机构北京维昊知识产权代理事务所(普通合伙)11804

专利代理师王颖慧

(51)Int.Cl.

H01J37/141(2006.01)

H01J37/28(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图2页

(54)发明名称

用于带电粒子束系统中保持物镜恒温的方

法及设备

(57)摘要

CN119480589A本申请涉及电磁线圈技术领域，公开了一种用于带电粒子束系统中保持物镜恒温的方法及设备。所述方法包括：确定所述物镜的线圈产生磁场所需的最大安匝数并根据所述最大安匝数确定所述物镜的发热总功率；获取所述粗调线圈、所述细调线圈和所述功率补偿线圈各线圈对应的线圈匝数和电阻值；以及根据目标安匝数、所述发热总功率、所述各线圈对应的线圈匝数和电阻值协调所述粗调线圈、所述细调线圈和所述功率补偿线圈各线圈对应的电流值，以保持所述物镜恒温。利用本申请的方案，可以在