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集成电路可靠性关键技术研究

目录

一、集成电路稳健性核心技术研究概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

二、失效模式、机理与建模．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

2.1主要失效模式分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

2.2环境应力、老化效应及其耦合建模．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

2.3失效物理机制的微观机理探讨．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.4可靠性建模与仿真方法发展现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

三、精