CN119487242A 用于沉积均匀性及处理可调性的导流结构及热屏蔽结构及相关方法 （应用材料公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119487242A

(43)申请公布日2025.02.18

(21)申请号202380051292.9

(22)申请日2023.01.17

(30)优先权数据

202201005542022.07.12GR

2022410537692022.09.20IN

2022410611742022.10.27IN18/085,3712022.12.20US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2024.12.31

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2023/0109212023.01.17