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半导体材料加工精度控制研究

目录

内容概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.3研究内容与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

半导体材料概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.1半导体材料的定义与分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

2.2半导体材料的发展历程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

2.3半导体材料的应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

加工精度控制理论基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

3.1精度控制的基本概念．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

3.2影响加工精度的因素．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

3.3精度控制的方法与