CN119706734A 静电驱动微机电装置及其驱动方法 (广东三石园科技有限公司).pdfVIP

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  • 2026-05-02 发布于重庆
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CN119706734A 静电驱动微机电装置及其驱动方法 (广东三石园科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119706734A

(43)申请公布日2025.03.28

(21)申请号202510237756.6

(22)申请日2025.03.03

(71)申请人广东三石园科技有限公司

地址519085广东省珠海市高新区唐家湾

镇新沙五路625号1栋5层

(72)发明人徐立斌黎凯苏卓

(74)专利代理机构珠海智专专利商标代理有限

公司44262

专利代理师林永协

(51)Int.Cl.

B81B7/02(2006.01)

G02B26/08(2006.01)

G05D3/12(2006.01)

权利

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