CN119759878A 光谱库的构建方法、光学关键尺寸的测量方法及装置 (合肥晶合集成电路股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-05-02 发布于重庆
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CN119759878A 光谱库的构建方法、光学关键尺寸的测量方法及装置 (合肥晶合集成电路股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119759878A

(43)申请公布日2025.04.04

(21)申请号202510246213.0

(22)申请日2025.03.04

(71)申请人合肥晶合集成电路股份有限公司

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