微电子科学与工程半导体材料表征手册 (标准版).docxVIP

微电子科学与工程半导体材料表征手册(标准版)

1.第1章半导体材料基础理论

1.1半导体材料基本概念

1.2半导体材料分类与特性

1.3半导体材料表征原理

1.4半导体材料生长技术

1.5半导体材料缺陷分析

2.第2章半导体材料表征技术

2.1电子显微镜技术

2.2X射线衍射技术

2.3光谱分析技术

2.4电阻率测量技术

2.5能带结构测量技术

3.第3章半导体材料制备技术

3.1半导体材料合成方法

3.2半导体材料加工技术

3.3半导体材料表征与检测

3.4半导体材料质量控制

3.5半导体材料表征设备

4.第4章半导体材料缺陷分析

4.1半导体材料缺陷类型

4.2缺陷成因分析

4.3缺陷检测技术

4.4缺陷对材料性能的影响

4.5缺陷控制与改善

5.第5章半导体材料晶体结构分析

5.1晶体结构基本概念

5.2晶体结构表征技术

5.3晶体结构与材料性能的关系

5.4晶体结构缺陷分析

5.5晶体结构表征设备

6.第6章半导体材料光学特性分析