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中科仪专注真空装备技术，干式真空泵配套长鑫、长存等半导体本土领军者.docxVIP

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  • 2026-05-09 发布于海南
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中科仪专注真空装备技术，干式真空泵配套长鑫、长存等半导体本土领军者.docx

    图表目录

    图表1：中科仪此次发行采用网下询价 4

    图表2：本次发行战略配售发行数量为520万股 4

    图表3：中科仪3个募投项目预计投资总额为129492万元 5

    图表4：国科控股持有国科科仪100%股权（截至2025年12月31日） 6

    图表5：罗茨干泵抽气结构及过程示意图 7

    图表6：公司罗茨干泵产品包含L、M和H三个型号 7

    图表7：PVD、CVD设备多用于前沿基础科学和产业高端薄膜制备领域 9

    图表8：公司分子束外延（MBE）设备 9

    图表9：公司为高能物理大科学装置提供的产品主要包

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