CN119489060A 清洗装置及清洗方法、晶圆减薄设备 （武汉楚兴技术有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119489060A

(43)申请公布日2025.02.21

(21)申请号202311000916.2

(22)申请日2023.08.09

(71)申请人武汉楚兴技术有限公司

地址430040湖北省武汉市东西湖区径河

街网安大道7号

(72)发明人邹睿张栋梁李素龙

(74)专利代理机构北京中博世达专利商标代理

有限公司11274

专利代理师申健

(51)Int.Cl.

B08B3/02(2006.01)

B08B3/10(2006.01)

B08B1/14(2024.01)

B08B1/20(2024.01)

B08B1/52(2024.01)

H01L21/02(2006.01)

H01L21/304(2006.01)

权利要求书2页说明书10页附图5页

(54)发明名称

清洗装置及清洗方法、晶圆减薄设备

(57)摘要

CN119489060A本公开的实施例提供了一种清洗装置及清洗方法、晶圆减薄设备，涉及晶圆加工技术领域，用于减少沉积在清洗槽底部的晶渣在清洁部件上的附着，从而降低划伤晶圆的风险。该清洗装置包括清洗槽、进液阀和排液阀。清洗槽包括底壁和围绕底壁设置的侧壁。侧壁设有进液口，底壁设有排液口。底壁为漏斗状，排液口位于底壁的中