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CN119489395A 一种多晶碳化硅衬底的抛光方法 （河南联合精密材料股份有限公司）.docxVIP

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  • 2026-05-03 发布于山西
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CN119489395A 一种多晶碳化硅衬底的抛光方法 （河南联合精密材料股份有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119489395A

    (43)申请公布日2025.02.21

    (21)申请号202510037189.X

    (22)申请日2025.01.09

    (71)申请人河南联合精密材料股份有限公司

    地址450000河南省郑州市河南自贸试验

    区郑州片区（经开）腾达路56号

    (72)发明人王森王松娟贾亦鸣陈高龙汪静

    (74)专利代理机构郑州睿信知识产权代理有限

    公司41119

    专利代理师郭佳效

    (51)Int.Cl.

    B24B37/04(2012.01)

    B24B37/24(2012.01

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