金属覆盖层 厚度测量 扫描电镜法.pdfVIP

金属覆盖层厚度测量扫描电镜法

1范围

本文件描述了利用扫描电子显微镜（SEM）检测金属及其他无机涂层试样横截面局部厚度的方式

测量涂层厚度的方法。该方法是一种破坏性检测方法。

本文件适用于厚度不超过几毫米的涂层，对于超过此范围的涂层，建议采用光学显微镜法（GB/T

6462）进行测量。涂层的最小可测厚度受限于测量的不确定性（详见第10章）。本文件也适用于在截

面制备及成像过程中不会受到电子束损伤的有机涂层。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件。

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

局部厚度localthickness

在涂层的一个指定区域内进行多次测量，取平均值所得的厚度值。

[见GB/T12334-2001，3.4]

4原理

将试样沿垂直于涂层水平方向切割，并经过仔细打磨和抛光，制成金相试样，放入扫描电子显微镜

中进行检测。扫描电子显微镜图像可通过操作软件内置工具进行测量，或将图像与校准数据一同导入图

像处理软件，使用软件的相应工具进行测量。

5仪器

5.1扫描电子显微镜（SEM）

市面上销售的常用仪器。

5.2SEM软件长度测量功能校准工具

为了校准扫描电子显