CN110731012A 具有处理器和异构存储器的一体化半导体器件及其形成方法 （长江存储科技有限责任公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN110731012A

(43)申请公布日2020.01.24

(21)申请号201980002051.9

(22)申请日2019.09.11

(66)本国优先权数据

PCT/CN2019/0826072019.04.15CNPCT/CN2019/0852372019.04.30CNPCT/CN2019/0974422019.07.24CN

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2019.10.22

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/CN2019/1052922019.09.11

(71)申请人长江存储科技有限责任公司

地址430074湖北省武汉市东湖开发区关

东科技工业园华光大道18号7018室

(72)发明人程卫华刘峻

(74)专利代理机构北京永新同创知识产权代理

有限公司11376

代理人林锦辉刘景峰

(51)Int.Cl.

H01L25/18(2006.01)

H01L21/60(2006.01)

权利要求书6页说明书32页附图27页

(54)发明名称

具有处理器和异构存储器的一体化半导体

器件及其形成方法

(57)摘要

CN110731012A公开了半导体器件的实施例及其制造方法。在示例中，半导体器件包括NAND存