CN119943729A 前向搬运机器人 （中科新松有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119943729A

(43)申请公布日2025.05.06

(21)申请号202510246863.5

(22)申请日2025.03.04

(71)申请人中科新松有限公司

地址201206上海市浦东新区中国（上海）

自由贸易试验区金藏路351号11幢西

101室、201室

(72)发明人赵国锋黄亮邢旭

(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司

11332

专利代理师邱锴文

(51)Int.Cl.

H01L21/677(2006.01)

H01L21/687(2006.01)

H01L21/68(2006.01)