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先进制程集成电路技术面临的挑战

目录

一、前言．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

二、微纳尺度操控的问难．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

2.1业界前沿二十八纳米工序关键技术瓶颈全息透视．．．．．．．．．．．．．3

2.2突破尺寸极限的平方反比效应调控难题．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

2.3极紫外光刻法与多重图形复制术复合应用困局．．．．．．．．．．．．．．．7

三、新材新艺的协同发展路障．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

3.1碳基材料、三维堆叠等非常规结构集成效能探索．．．．．．．．．．．．11

3.2光刻工艺路径选择的演进论争与专项攻陷．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

四、智能时代测试验证与可靠性工程的尺度挑战．．．．．．．．．．．．．．．．18

4.1超深亚微米高频高速环境下的性能封测集合考验．．．．．．．．．．．．18

4.2芯片智能制造体系的世纪难题跨越．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

4.3极致集成度下的散热压抑综合症破局．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

4.3.1多核共频下的动态功耗热浪排布难题求解．．．．．．．．．．．．．．．．36

4.3.