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硅基纳米梁腔：解锁光学操纵的微观密码

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光学领域，硅基纳米梁腔凭借其独特的光学特性，正逐渐成为研究的焦点。硅基纳米梁腔作为一种基于硅材料的微纳结构，具有尺寸小、品质因数高、与互补金属氧化物半导体（CMOS）工艺兼容性强等显著优势。这些特性使得硅基纳米梁腔在光通信、光传感、量子光学等众多领域展现出巨大的应用潜力。在光通信中，可利用其高Q值实现窄带滤波，提高信号传输的准确性；在光传感领域，能够对微小的物理量变化做出灵敏响应，实现高灵敏度的传感检测。

光学操纵技术作为一种非接触式的操控手段，利用光与物质相互作用产生的光学力，可实现对微观粒子、生物细胞等微小