表面化学分析 X 射线光电子能谱 分析指南.pdfVIP

表面化学分析X射线光电子能谱分析指南

1范围

本标准适用于X射线光电子能谱仪的操作者分析典型样品。本标准帮助操作者完成整个分析过程，

包括样品处理，谱仪校准和设定以及宽扫描谱和窄扫描谱的采集,并给出了定量和准备最终报告的建议。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

ISO18115-1表面化学分析词汇第一部分：通用术语及谱学术语（Surfacechemicalanalysis—

Vocabulary—Part1:Generaltermsandtermsusedinspectroscopy）

注：GB/T22461.1—2023,表面化学分析词汇第1部分：通用术语及谱学术语（ISO18115-1:2013，IDT）

3术语和定义

ISO18115-1界定的术语和定义适用于本文件。

4符号和缩略语

AES俄歇电子能谱（Augerelectronspectroscopy）

ARXPS变角X射线光电子能谱（angle-resolvedX-rayphotoelect