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2025年炉内器件高纯处理工工艺考核试卷及答案

一、单项选择题（每题2分，共40分）

1.炉内器件高纯处理的核心目的是（）

A.提高器件机械强度B.去除表面及内部杂质至ppb级C.增强表面导电性D.降低器件热膨胀系数

2.高纯处理中常用的保护性气体不包括（）

A.氮气（纯度≥99.999%）B.氩气（纯度≥99.9995%）C.氧气（纯度≥99.99%）D.二氧化碳（纯度≥99.9%）

3.氧化工艺中，炉温控制精度需达到（）

A.±5℃B.±2℃C.±10℃D.±15℃

4.器件表面典型污染物不包括（）

A.金属离子（如Fe、Cu）B.有机残留物（如光刻胶）C.微米级陶瓷颗粒D.纳米级二氧化硅薄膜

5.控制氧化层厚度的关键参数组合是（）

A.气体湿度、冷却速率B.炉压、器件材质C.温度、时间、气体流量D.清洗液pH值、钝化时间

6.高纯处理环境的露点需控制在（）

A.≤-40℃B.≤-60℃C.≤-70℃D.≤-80℃

7.颗粒度检测通常使用（）

A.扫描电镜（SEM）B.激光粒子计数器C.X射线衍射仪（XRD）D.原子力显微镜（AFM）

8.氢氟酸（HF）清洗时，常用浓度范围是（）

A.