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CN119495622A 晶圆切割及清洗方法 （弘塑科技股份有限公司）.docxVIP

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  • 2026-05-06 发布于山西
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CN119495622A 晶圆切割及清洗方法 （弘塑科技股份有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119495622A

    (43)申请公布日2025.02.21

    (21)申请号202311024395.4

    (22)申请日2023.08.15

    (71)申请人弘塑科技股份有限公司

    地址中国台湾新竹市香山区中华路六段89号

    (72)发明人吴宗恩邱云正

    (74)专利代理机构上海翼胜专利商标事务所(普通合伙)31218

    专利代理师翟羽

    (51)Int.Cl.

    H01L21/683(2006.01)

    H01L21/02(2006.01)

    H01L21/687(2006.01)

    H01L21/6

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