原创力文档分步重复光刻机项目安全评估报告
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分步重复光刻机项目安全评估报告
目录
TOC\o1-9前言 4
一、安全评价程序与评价方法 4
(一)、安全评价程序 4
(二)、划分评价单元 5
(三)、确定采用的安全评价方法 7
二、定性、定量安全评价 9
(一)、安全管理单元 9
(二)、厂址条件、平面布置及建、构筑物单元 10
(三)、生产单元 11
(四)、公用工程及辅助设施单元 14
三、评价分步重复光刻机项目概述 18
(一)、被评价单位的基本情况 18
(二)、分步重复光刻机行业企业所在地的自然条件 19
(三)、企业选址及平面
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