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CN119495627A 弹性针脚、晶圆应力检测装置及晶圆应力检测方法 （芯恩（青岛）集成电路有限公司）.docxVIP

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  • 2026-05-06 发布于山西
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CN119495627A 弹性针脚、晶圆应力检测装置及晶圆应力检测方法 （芯恩（青岛）集成电路有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119495627A

    (43)申请公布日2025.02.21

    (21)申请号202311041665.2

    (22)申请日2023.08.17

    (71)申请人芯恩（青岛）集成电路有限公司

    地址266000山东省青岛市黄岛区太白山

    路19号德国企业南区401

    (72)发明人陈妍盖文超

    (74)专利代理机构上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙)31286

    专利代理师黄海霞

    (51)Int.Cl.

    H01L21/687(2006.01)

    H01L21/66(2006.01)

    B25B11

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