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CN119495612A 用于刻蚀机内静电吸盘的多通道光纤荧光测温器件及方法 （西安和其光电科技股份有限公司）.docxVIP

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  • 2026-05-06 发布于山西
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CN119495612A 用于刻蚀机内静电吸盘的多通道光纤荧光测温器件及方法 （西安和其光电科技股份有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119495612A

    (43)申请公布日2025.02.21

    (21)申请号202510080341.2

    (22)申请日2025.01.20

    (71)申请人西安和其光电科技股份有限公司

    地址710119陕西省西安市高新区毕原二

    路3000号2号楼

    (72)发明人张文松

    (74)专利代理机构北京高沃律师事务所11569

    专利代理师任宣玮

    (51)Int.Cl.

    H01L21/67(2006.01)

    H01L21/683(2006.01)

    H01J37/32(2006.01)

    G01K1

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