CN119993813A 一种扫描电子显微镜以及晶圆表面形貌图像成像方法 .pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119993813A

(43)申请公布日2025.05.13

(21)申请号202510258489.0

(22)申请日2025.03.05

(71)申请人东方晶源微电子科技（北京）股份有

限公司

地址100176北京市大兴区北京经济技术

开发区经海四路156号院12号楼

(72)发明人朱芃睿孟庆浪

(74)专利代理机构北京东方亿思知识产权代理

有限责任公司11258

专利代理师杨永恒

(51)Int.Cl.

H01J37/28(2006.01)

H01J37/26(2006.01)

H01L21/66(2006.01)