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CN119984121A 一种超声测厚方法及设备 .pdfVIP

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  • 2026-05-06 发布于重庆
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CN119984121A 一种超声测厚方法及设备 .pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119984121A

    (43)申请公布日2025.05.13

    (21)申请号202510256784.2

    (22)申请日2025.03.05

    (71)申请人中国科学院声学研究所

    地址100190北京市海淀区北四环西路21

    号

    申请人北京微电子技术研究所

    (72)发明人梁昊李冬梅陈浩路文墨

    孟津霄

    (74)专利代理机构北京亿腾知识产权代理事务

    所(普通合伙)11309

    专利代理师陈霁

    (51)Int.Cl.

    G01B17/02(2006.01)

    权利要求书3页说明书11页附图4

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