CN119980185A 一种制备低温氮化硅薄膜的方法及设备 .pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约1.34万字
  • 约 12页
  • 2026-05-06 发布于重庆
  • 举报

CN119980185A 一种制备低温氮化硅薄膜的方法及设备 .pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119980185A

(43)申请公布日2025.05.13

(21)申请号202510252998.2

(22)申请日2025.03.05

(71)申请人江苏汉可智能装备有限公司

地址226000江苏省南通市苏锡通科技产

业园区海堡路6号中新智能制造产业

园9号楼一层及二层西侧区域

(72)发明人黄海宾刘峰学

(74)专利代理机构北京康隆律师事务所16232

专利代理师郑剑文

(51)Int.Cl.

C23C16/34(2006.01)

C23C16/52(2006.01)

C23C16/46(2006.01)

您可能关注的文档

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档