1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 办公文档
  5. 产品手册

CN119495587A 一种晶圆贴膜瑕疵检测系统及方法 （星隆科技(江苏)有限公司）.docxVIP

  • 1
  • 0
  • 约2.34万字
  • 约 33页
  • 2026-05-06 发布于山西
  • 举报

CN119495587A 一种晶圆贴膜瑕疵检测系统及方法 （星隆科技(江苏)有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119495587A

    (43)申请公布日2025.02.21

    (21)申请号202411483734.X

    (22)申请日2024.10.23

    (71)申请人星隆科技（江苏）有限公司

    地址215000江苏省苏州市苏州工业园区

    东旺路8号7号楼A幢1层

    (72)发明人朱万杰魏超凡云帆俞杰

    (74)专利代理机构上海权知权能知识产权代理事务所(普通合伙)31536

    专利代理师宗兵

    (51)Int.Cl.

    H01L21/66(2006.01)

    G01N21/95(2006.01)

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >