原创力文档Thephasecontrolcompany
SID4UVHR
紫外波前传感器，波长低至190nm
基于Phasics的独家专利技术，SID4UVHR波前传感器可在190nm至400nm的紫外波段提
供无与伦比的高相位分辨率（355x280取样分辨率）和极高的相位灵敏度（优于1nm
RMS）。
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