CN119497479A 一种可修正误差的平面拉伸式Mini-LED芯片扩膜装置与方法 （广东工业大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119497479A

(43)申请公布日2025.02.21

(21)申请号202411568774.4

(22)申请日2024.11.05

(71)申请人广东工业大学

地址510000广东省广州市越秀区东风东

路729号

(72)发明人贺梓霖陈云马莉罗翔远侯茂祥陈新

(74)专利代理机构佛山市禾才知识产权代理有限公司44379

专利代理师朱培祺

(51)Int.Cl.

H10H29/01(2025.01)

H01L21/67(2006.01)

H01L21/68(2006.01)

权利要求书3页说明书10页附图6页

(54)发明名称

一种可修正误差的平面拉伸式Mini-LED芯

片扩膜装置与方法

(57)摘要

CN119497479A本发明属于Mini_LED芯片制造技术领域，公开一种可修正误差的平面拉伸式Mini_LED芯片扩膜装置与方法。一种可修正误差的平面拉伸式芯片扩膜装置，包括第一扩膜机构、第二扩膜机构、压膜框、扫描相机和误差修正机构。采用第一扩膜机构和第二扩膜机构用于整体拉伸蓝膜，其后扫描相机检测蓝膜上芯片的位置，修正盘通过吸附通孔吸附以局部固定蓝膜中芯片位置没有偏移的部分，再通过弹子顶起蓝膜中芯片存在偏移没有被固定的部分，对