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基于DSP的激光外差干涉纳米测量信号处理系统：设计、实现与验证

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业与科研领域，高精度的测量技术始终是推动发展的关键力量。纳米级别的测量精度在半导体制造、光学器件加工、生物医学研究等众多前沿领域中有着极为重要的应用。比如，在半导体芯片制造过程中，芯片上的电路线宽已达到纳米量级，任何细微的尺寸偏差都可能导致芯片性能的下降甚至失效，这就要求对制造过程中的各种参数进行纳米级精度的测量与控制，以确保芯片的质量和性能。

激光外差干涉纳米测量技术凭借其测量范围大、精度高、可溯源性强等显著优势，在纳米测量领域占据了重要地位。它利用激光的高相干性，将参考光束和测量光束