CN119506797A 用于制备多层光学渐变结构的控制组件及方法 （上海大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119506797A

(43)申请公布日2025.02.25

(21)申请号202510091733.9

(22)申请日2025.01.21

(71)申请人上海大学

地址200444上海市宝山区上大路99号

(72)发明人刘海

(74)专利代理机构上海慧晗知识产权代理事务所(普通合伙)31343

专利代理师徐桂凤

(51)Int.Cl.

C23C14/34(2006.01)

G02B6/00(2006.01)

C23C14/54(2006.01)

权利要求书2页说明书14页附图9页

(54)发明名称

用于制备多层光学渐变结构的控制组件及

方法

(57)摘要

CN119506797A一种用于制备多层光学渐变结构的控制组件及方法，方法包括：提供基板，所述基板包括一个或多个光栅结构区域；提供至少两种靶源材料，设置于所述基板上方；提供控制组件，并将所述控制组件置于所述靶源材料和所述基板之间且贴合于所述基板的表面放置；通过调整所述靶源材料相对于第一通孔和第二通孔的位置在所述光栅结构区域的任一区域上形成至少两层材料层，且每层材料层的厚度沿目标方向逐渐减小，所述目标方向为形成所述材料层所采用的第一通孔指向形成所述材料层所采用的第二通孔的方向。以实现多层光学渐变结构的厚度连续变