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- 2026-05-09 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120195802A
(43)申请公布日2025.06.24
(21)申请号202510285216.5
(22)申请日2025.03.11
(71)申请人重庆大学
地址400044重庆市沙坪坝区沙正街174号
(72)发明人刘显明雷小华李乾章鹏
许亨艺
(74)专利代理机构重庆缙云专利代理事务所
(特殊普通合伙)50237
专利代理师马健
(51)Int.Cl.
G02B6/02(2006.01)
权利要求书2页说明书8页附图2页
(54)发明名称
一种基于飞秒激光和多环掩膜板的光刻单
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