微机电系统习题及答案.docxVIP

微机电系统习题及答案

考试时间：______分钟总分：______分姓名：______

选择题（每题2分，共20分）

1.微机电系统（MEMS）的典型尺寸范围是？

A.1mm-10mm

B.1μm-1mm

C.1nm-1μm

D.0.1nm-1nm

2.下列属于MEMS典型制造工艺的是？

A.注塑成型

B.光刻

C.焊接

D.车削加工

3.硅的各向异性湿法蚀刻剂常用的是？

A.HF

B.KOH

C.HCl

D.HNO3

4.静电执行器的吸合电压公式中，不包含以下哪个参数？

A.电极面积

B.初始间隙

C.梁的杨氏模量

D.环境温度

5.压阻式传感器的工作原理基于？

A.压电效应

B.压阻效应

C.热电效应

D.光电效应

6.电容式加速度计的核心结构是？

A.质量块-弹簧-阻尼系统

B.压电晶体

C.热敏电阻

D.电感线圈

7.LIGA工艺的核心步骤不包括？

A.光刻

B.电铸

C.塑铸

D.离子注入

8.在MEMS设计中，版图设计规则主要考虑？

A.最小线宽

B.最大电流

C.功率消耗