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CN119509339A Mems振镜的测量方法和装置 （北京一径科技有限公司）.docxVIP

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  • 2026-05-08 发布于山西
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CN119509339A Mems振镜的测量方法和装置 （北京一径科技有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119509339A

    (43)申请公布日2025.02.25

    (21)申请号202311061731.2

    (22)申请日2023.08.22

    (71)申请人北京一径科技有限公司

    地址100085北京市海淀区上地八街7号院

    10号楼1层108

    (72)发明人许彬彬张港李艳滨夏冰冰石拓

    (74)专利代理机构北京善任知识产权代理有限

    公司11650

    专利代理师纪晓萌孟桂超

    (51)Int.Cl.

    G01B7/30(2006.01)

    权利要求书2页说明书9页附图4页

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