CN119512237A 基于压力衰减速率校验质量流量的方法、系统和设备 （应用材料公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119512237A

(43)申请公布日2025.02.25

(21)申请号202411362537.2

(22)申请日2019.02.20

(30)优先权数据

15/936,4282018.03.26US

(62)分案原申请数据

201980028315.82019.02.20

(71)申请人应用材料公司

地址美国加利福尼亚州

(72)发明人叶祉渊贾斯汀·霍夫

玛塞勒·E·约瑟夫森

(74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理

有限公司11006

专利代理师徐金国吴启超

(51)Int.Cl.

G05D7/06(2006.01)

G01F25/00(2022.01)

G01F25/10(2022.01)

G01F1/80(2006.01)

权利要求书2页说明书8页附图6页

(54)发明名称

基于压力衰减速率校验质量流量的方法、系

统和设备

(57)摘要

CN119512237A质量流量校验系统和设备基于压力衰减原理来校验质量流量控制器(MFC)的质量流率。实施方式包括用于在管线中耦合经校准的气体流量标准器或待测试的MFC以从气源接收气流的位置；串联耦合到管线中的所述位置以接收气流的控制体积；串联耦合到控制体积的限流器；串联耦合到限流