半导体原料制备工专项题库.docx

第PAGE59/NUMPAGES59页

半导体原料制备工专项题库

一、单选题(只有一个正确答案)

1.半导体原料制备中,高纯度多晶硅通常采用哪种方法生产?

A.硅酸二钙还原法

B.三氯氢硅氢还原法

C.硅铁还原法

答案:B

解析:三氯氢硅氢还原法是目前主流的生产多晶硅的方法。

2.多晶硅生产中,三氯氢硅(STC)水解反应的目的是?

A.生成四氯化硅

B.分离杂质并制备三氯氢硅

C.生成高纯多晶硅

答案:C

解析:三氯氢硅(STC)水解反应生成的产物(SiHCl3)经提纯后还原可得到多晶硅。

3.半导体级多晶硅的杂质含量要求通常在哪个量级?

A.百分之几(%)

B.

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档