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半导体原料制备工专项题库
一、单选题(只有一个正确答案)
1.半导体原料制备中,高纯度多晶硅通常采用哪种方法生产?
A.硅酸二钙还原法
B.三氯氢硅氢还原法
C.硅铁还原法
答案:B
解析:三氯氢硅氢还原法是目前主流的生产多晶硅的方法。
2.多晶硅生产中,三氯氢硅(STC)水解反应的目的是?
A.生成四氯化硅
B.分离杂质并制备三氯氢硅
C.生成高纯多晶硅
答案:C
解析:三氯氢硅(STC)水解反应生成的产物(SiHCl3)经提纯后还原可得到多晶硅。
3.半导体级多晶硅的杂质含量要求通常在哪个量级?
A.百分之几(%)
B.
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