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探秘超快激光：石英玻璃化学腐蚀选择性的机理与调控策略

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，微纳制造技术已成为众多领域实现创新突破的关键支撑，如生物医学、航空航天、电子信息等。在微纳制造过程中，对材料进行精确加工与微结构构建的需求日益迫切，而石英玻璃作为一种具有优异光学、热学和化学性能的材料，在微纳制造领域展现出巨大的应用潜力。然而，石英玻璃的硬脆性和高熔点使其难以通过传统加工方法实现高精度的微纳结构制造，这极大地限制了其在微纳制造领域的广泛应用。

超快激光加工技术作为一种新兴的微纳加工技术，在过去几十年中取得了显著的发展。超快激光具有极短的脉冲宽度（通常在飞秒或皮秒量级）和