CN119506795A 沉积辅助结构、光学结构的形成方法及衍射光波导 （上海大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119506795A

(43)申请公布日2025.02.25

(21)申请号202510089001.6

(22)申请日2025.01.21

(71)申请人上海大学

地址200444上海市宝山区上大路99号

(72)发明人刘海

(74)专利代理机构上海慧晗知识产权代理事务所(普通合伙)31343

专利代理师徐桂凤

(51)Int.Cl.

C23C14/34(2006.01)

G02B6/00(2006.01)

C23C14/54(2006.01)

权利要求书2页说明书11页附图5页

(54)发明名称

沉积辅助结构、光学结构的形成方法及衍射

光波导

(57)摘要

CN119506795A一种沉积辅助结构、光学结构的形成方法及衍射光波导，方法包括：提供基板，所述基板包括一个或多个光学结构区域；提供沉积辅助结构，所述沉积辅助结构垂直于基板表面方向设置；提供靶材，设置于所述基板上方；将所述沉积辅助结构设置于所述靶材与所述基板之间，所述第二辅助板与所述基板接触，所述第二窗口与所述光学结构区域相对应，所述第一窗口与所述靶材相对应；通过调整靶材、第一窗口和第二窗口的相对位置在所述光学结构区域上形成厚度依次增加或减少的光学结构材料层。以实现光学结构的

CN119506795