DB63_T 2467-2025 多晶硅制造装置基于风险的评价与检验技术规范.docxVIP

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63

青海省地方标准

DB63/T2467—2025

多晶硅制造装置基于风险的评价与检验技

术规范

2025-09-24发布2025-11-01实施

青海省市场监督管理局发布

DB63/T2467—2025

I

目次

前言 II

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4装置损伤分布 2

5关键设备主要损伤及部位 4

6风险评估过程及要求 4

7基于风险的检验策略制定 5

8风险评估质量评定 6

附录A（资料性）多晶硅制造装置损伤分布流程图 7

附录B（资料性）多晶硅制造装置风险评估质量评定 11

DB63/T2467—2025

II

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中国特种设备检测研究院提出。

本文件由青海省市场监督管理局归口。

本文件起草单位：中