CN120141595A 一种基于玻璃薄膜结构的mems热式流量传感器及其制备方法 (东南大学).pdfVIP

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  • 2026-05-09 发布于重庆
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CN120141595A 一种基于玻璃薄膜结构的mems热式流量传感器及其制备方法 (东南大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120141595A

(43)申请公布日2025.06.13

(21)申请号202510279073.7

(22)申请日2025.03.11

(71)申请人东南大学

地址211102江苏省南京市江宁区东南大

学路2号

(72)发明人周再发程凤黄庆安

(74)专利代理机构南京瑞弘专利商标事务所

(普通合伙)32249

专利代理师吴旭

(51)Int.Cl.

G01F1/684(2006.01)

G01F1/692(2006.01)

B81B7/02(2006.01)

B81B7/00(2006.01)

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