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先进制程工艺偏差控制方法

目录

内容概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.3研究内容与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

制程工艺偏差分析理论基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.1制程工艺概念与特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.2偏差产生的主要原因．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

2.3偏差分析方法与模型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

关键制程工艺参数优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

3.1核心工艺参数识别．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

3.2参数优化方法研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

3.3参数优化实验设计