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双平面阵列静电传感器灵敏特性分析及结构优化.pdfVIP

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  • 2026-05-11 发布于江西
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双平面阵列静电传感器灵敏特性分析及结构优化.pdf

    第46卷第2期计量学报Vol.46，№2

    2025年2月ACTAMETROLOGICASINICAFebruary，2025

    doi：10.3969/j.issn.1000-1158.2025.02.13

    双平面阵列静电传感器灵敏特性分析及结构优化

    12112

    贾宝惠，熊亿杰，肖海建，丁梓航，段博文

    （1.中国民航大学交通科学与工程学院，天津300300；

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