原创力文档摘要
由于Wolter-I型芯轴是制造极紫外光学收集镜的关键零件，制造过程中其
表面质量的检测至关重要，而在芯轴检测过程中的调心是保证测量精确度的关
键。因此本文提出通过机器视觉对光学芯轴进行检测调整。论文的主要研究内
容如下：
首先，为了减少光学芯轴表面测量中因光学芯轴和载物台位置偏差引起的
测量误差，本文提出了一种基于机器视觉的光学芯轴定位检测调整的方法，从
而提高光学芯轴调心的精确度进而保证了芯轴表面质量测量的精确度。
其次，设计了基于机器视觉的光学芯轴调心系统。
摘要
由于Wolter-I型芯轴是制造极紫外光学收集镜的关键零件，制造过程中其
表面质量的检测至关重要，而在芯轴检测过程中的调心是保证测量精确度的关
键。因此本文提出通过机器视觉对光学芯轴进行检测调整。论文的主要研究内
容如下：
首先，为了减少光学芯轴表面测量中因光学芯轴和载物台位置偏差引起的
测量误差，本文提出了一种基于机器视觉的光学芯轴定位检测调整的方法，从
而提高光学芯轴调心的精确度进而保证了芯轴表面质量测量的精确度。
其次，设计了基于机器视觉的光学芯轴调心系统。
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