SiC功率器件离子注入工艺参数优化及设备采购项目可行性研究报告.docx

SiC功率器件离子注入工艺参数优化及设备采购项目可行性研究报告

第一章总论

项目概要

项目名称

SiC功率器件离子注入工艺参数优化及设备采购项目

建设单位

科创芯能半导体科技（苏州）有限公司于2023年5月在江苏省苏州市工业园区市场监督管理局注册成立，属有限责任公司，注册资本金5000万元人民币。核心经营范围包括半导体器件制造、半导体器件专用设备制造、半导体技术研发、集成电路芯片及产品销售等，依法经批准的项目经相关部门批准后开展经营活动。

建设性质

新建

建设地点

江苏省苏州工业园区半导体产业园内，该园区是国内半导体产业集聚度高、配套设施完善的核心区域之一，周边汇聚了大量半导体上下游企业，