CN119535879A 压印光罩制造方法 (光群雷射科技股份有限公司).docxVIP

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  • 2026-05-13 发布于山西
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CN119535879A 压印光罩制造方法 (光群雷射科技股份有限公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119535879A

(43)申请公布日2025.02.28

(21)申请号202311092438.2

(22)申请日2023.08.28

(71)申请人光群雷射科技股份有限公司地址中国台湾

(72)发明人林刘恭

(74)专利代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司11240

专利代理师李思瑶

(51)Int.Cl.

G03F1/00(2012.01)

G03F7/00(2006.01)

权利要求书2页说明书8页附图10页

(54)发明名称

压印光罩制造方法

(57)摘要

CN11

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