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超薄鳍型晶体管架构下的集成电路设计新范式

目录

内容概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

超薄鳍型晶体管架构原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

2.1晶体管基本结构．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

2.2贯穿式栅极结构．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

2.3薄体效应．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

2.4内建电场．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

超薄鳍型晶体管的制备工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

3.1晶圆制备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

3.2薄体技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

3.3栅极工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

3.4接口工程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．