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- 2026-05-11 发布于山西
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119530745A
(43)申请公布日2025.02.28
(21)申请号202311100958.3
(22)申请日2023.08.28
(71)申请人东北大学
地址110819辽宁省沈阳市和平区文化路3
号巷11号
(72)发明人刘坤杨胜权滕帅鲁现航谢元华
(51)Int.Cl.
C23C14/54(2006.01)
C23C14/56(2006.01)
C23C14/24(2006.01)
C23C14/20(2006.01)
权利要求书2页说明书6页附图
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