CN120082878A 一种立式CVD反应器制备SiC纤维用丝材收放丝一体机 .pdfVIP

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  • 2026-05-11 发布于重庆
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CN120082878A 一种立式CVD反应器制备SiC纤维用丝材收放丝一体机 .pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120082878A

(43)申请公布日2025.06.03

(21)申请号202510270065.6

(22)申请日2025.03.07

(71)申请人西安捷盛电子技术有限责任公司

地址710000陕西省西安市高新区新型工

业园创汇路二十五号

(72)发明人白小锋闫瑞浩杨少林马武平

杨小红苏会军

(74)专利代理机构北京中佳信联知识产权代理

有限公司16122

专利代理师刘晓刚

(51)Int.Cl.

C23C16/54(2006.01)

权利要求书2页说明书10页附图14页

(54

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