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纳米膜材料在工业气体纯化中的性能分析

目录

内容概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

纳米膜材料的制备方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

2.1化学气相沉积法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

2.2动力学激光沉积法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

2.3离子束溅射法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

2.4分子束外延法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

纳米膜材料的结构与特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.1纳米膜的厚度与均匀性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.2纳米膜的化学稳定性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

3.3纳米膜的机械强度．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

3.4纳米膜的热稳定性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

纳米膜