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CN120210723A 一种具有晶格匹配缓冲层的AlScN薄膜及其制备方法 （重庆交通大学）.pdfVIP

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  • 2026-05-12 发布于重庆
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CN120210723A 一种具有晶格匹配缓冲层的AlScN薄膜及其制备方法 （重庆交通大学）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN120210723A

    (43)申请公布日2025.06.27

    (21)申请号202510297590.7

    (22)申请日2025.03.13

    (71)申请人重庆交通大学

    地址400074重庆市南岸区学府大道66号

    (72)发明人白洁朱焕能吴进王强

    (74)专利代理机构北京海虹嘉诚知识产权代理

    有限公司11129

    专利代理师吕小琴

    (51)Int.Cl.

    C23C14/06(2006.01)

    C23C14/02(2006.01)

    C23C14/35(2006.01)

    权利要求书1页说明书6页附图3页

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