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CN120249898A 一种氧化铌旋转靶材及其制备方法 （先导薄膜材料(淄博)有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-05-12 发布于重庆
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CN120249898A 一种氧化铌旋转靶材及其制备方法 （先导薄膜材料(淄博)有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN120249898A

    (43)申请公布日2025.07.04

    (21)申请号202510291352.5C23C4/02(2006.01)

    C23C4/08(2016.01)

    (22)申请日2025.03.12

    C23C4/073(2016.01)

    (71)申请人先导薄膜材料（淄博）有限公司

    地址255000山东省淄博市先创区渤海路

    以南、创业大道以东

    (72)发明人刘亚凡连升孙永利张涛

    文崇斌张文涛童培云

    (74)专利代理机构

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