2025年电子行业测试部测试工程师性能测试规范手册.docx

2025年电子行业测试部测试工程师性能测试规范手册

第1章测试环境与基础设施

1.1实验室环境与温湿度要求

实验室需严格依据GB/T17985.1-2018《电子/半导体/集成电路实验室环境条件》标准进行建设，确保相对湿度控制在40%~60%RH之间，并配备精密温湿度计实时监测，若湿度低于40%或高于70%需立即启动加湿或除湿系统，以消除静电干扰并保证器件稳定。②温度控制范围应设定为20℃±2℃，利用恒温恒湿系统维持温度波动小于±0.5℃，通过安装多路温控风机和干燥剂循环系统，防止因温度剧烈变化导致半导体材料晶格结构发生不可逆损伤。照明系统需采用LED冷光